M5111-2/UM型低壓硼擴散爐設備
關鍵詞：
泛半導體高端工藝裝備制造商、智能制造和整線集成解決方案提供商
M5111-2/UM型低壓硼擴散爐設備
- 硅片尺寸可兼容至230mm;
- 產能和兼容性優，可兼容多種規格硅片，僅需更換工裝夾具;
- 具備硼擴散及磷擴散工藝，兼容水平、垂直及常規方形放片；
- 配備獨特的濕氧系統，能夠有效縮短工藝時間提升工藝效果，大幅提升石英件使用壽命；
- 工藝技術成熟可靠，依托公司的工藝驗證電池線，可提供整線工藝技術支持服務。
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工藝種類 |
硼擴散 |
恒溫區長度 |
≤±0.5℃/2500mm(800℃ - 1100℃) |
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工藝氣體 |
BCl3(可定制BCl3供氣柜）、N2、O2 |
≤±1℃/2500mm(600℃ - 799℃) |
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石英管內徑 |
5管/臺、6管/臺、10管/臺、12管/臺 |
溫度速率 |
≤±1℃/2500mm(600℃ - 799℃) |
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典型裝片量 |
182硅片：2640片/管、2200片/管、（順氣流） |
石英管內徑 |
≥420mm |
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210硅片：2000片/管、1800片/管（順氣流） |
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片內≤5%、片間≤4%、 |
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溫度控制范圍 |
600℃ - 1500℃ |
工作壓力 |
50-1000mBar（環閉控制） |
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