能源管理系統(tǒng)
針對高能耗的制造車間，搭建能源數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、能源管理系統(tǒng)，開展能耗數(shù)據(jù)采集、監(jiān)測和可視化分析，并與MES、ERP等系統(tǒng)無縫集成，通過實時準確的數(shù)據(jù)實現(xiàn)能耗精益管理，解決傳統(tǒng)模式下能源監(jiān)管困難、能源成本居高不下的難題，提高企業(yè)能源利用率，同時為設備的智能運維提供數(shù)據(jù)支撐。
關鍵詞：
泛半導體高端工藝裝備制造商、智能制造和整線集成解決方案提供商
相關產(chǎn)品
RSC-6000型異質(zhì)結PECVD設備（含自動化）
設備采用射頻等離子體增加化學氣相沉積技術，在制絨清洗后的硅片表面，沉積5-10NM非晶硅鈍化層。非晶硅鈍化層包括本征非晶硅層（I層）、摻雜非晶硅層（P層）和摻雜非晶硅層（N層），且具備切換成甚高頻電源進行摻雜微晶硅層（P層）和參雜微晶硅層（N層）的沉積；配備等離子清洗系統(tǒng)，可在腔內(nèi)實現(xiàn)腔體和板框的自動清洗功能，維護保養(yǎng)方便；自動上下料系統(tǒng)具備上料自動外觀（破片、缺口、崩邊）檢測及下料PL檢測功能，整機良率及穩(wěn)定性好。
PVD又稱物理氣相沉積，RSP-100為多靶水平磁控濺射系統(tǒng)，專為實驗室工藝研發(fā)、材料開發(fā)等功能開發(fā)的一款多功能實驗性平臺，可滿足自動往復多次鍍膜的要求。
本設備可為單腔原子層積沉系統(tǒng)，專為實驗室工藝研發(fā)、材料開發(fā)等功能開發(fā)的一款多功能實驗性平臺，可針對性實現(xiàn)鈣鈦礦太陽能電池（PSCS)電子傳輸層薄膜（TIO2、SNO2等）的制備。
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